負責人：李志偉 主任
負責人分機：4437
地點：電漿薄膜中心1館2F
實驗室分機：4482

簡介

本實驗室以薄膜之機械性質研究為重點，使用三套機械性質測試設備，包括刮痕試驗機、Pin-on-Disk磨耗試驗機與薄膜衝擊試驗機(薄膜壽命量測系統)各一套。刮痕試驗機可測量薄膜與基材間或是薄膜本身的結合力，記錄刮痕過程之正向力、側向力、磨擦係數與音波放射訊號，並透過光學顯微鏡分析觀察對應刮道之微結構以分析發生破裂點的最小負荷，稱為臨界荷重(critical load，Lc)。磨耗試驗機可測量各式材料的磨擦係數與耐磨耗特性，可記錄磨耗過程之正向力(F)、側向力(L)、磨擦係數、磨耗深度、磨耗長度(S)、溼度與溫度等數據，並計算出薄膜之摩擦係數(m)、磨耗體積(W_S)與磨耗率(W_R)。

薄膜衝擊試驗機可評估薄膜對於長時間低荷重的耐衝擊能力，透過不同之測試荷重與衝擊頻率，可以獲得薄膜之耐衝擊與對應之疲勞壽命性質。

研究遠景

本實驗室將結合材料系之奈米壓痕儀(Nanoindenter)進行各種薄膜材料相關機械性質的研究，材料種類包括有機高分子薄膜、金屬薄膜、金屬玻璃薄膜、合金薄膜、氮化物薄膜、氧化物薄膜、碳化物薄膜與、碳氮化物薄膜與氮氧化物薄膜等。本實驗室設備將可提供本校各相關系所師生進行薄膜材料機械性質的研究，同時可進行跨校的學術合作與產學合作服務，並整合本中心其他實驗室設備進行各種類的光電、半導體、磁性、光學與機械領域應用的薄膜機械性質研究與分析。