熱電子型場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM )

X光射線光電子能譜儀(XPS)

冷場發掃描穿透式電子顯微鏡STEM

X光繞射光譜儀XRD

連續式-物理氣相沉積系統 (In- Line Physical Vapor Deposition)

批次-物理氣相沉積系統(Batch Type Physical Vapor Deposition)- 為多方位三維沈積系統

高功率脈衝磁控濺鍍系統 (High Power Impulse Magnetron Sputtering, HIPIMS)

原子層沉積系統 (Atomic Layer Deposition, ALD) 

離子輔助蒸鍍機 (Ion-Beam Assisted Deposition,IBAD)

複合式鍍膜系統 (Hybrid Coating System)