中心主任兼薄膜發展組組長/材料工程系講座教授
研究方向：表面改質(薄膜濺鍍、鋁化、滲鉻、無電鍍)、奈米機械性質量測分析、顯微鏡技術與微結構分析、防蝕技術
電話：(02)2908-9899轉6313/7502
E-mail : jefflee@mail.mcut.edu.tw
辦公室地點：綜大302-4/薄膜中心R201
電漿與薄膜科技中心產學服務組組長/材料工程系教授
研究方向：薄膜製程技術(硬質薄膜)、電漿源與真空系統設計、薄膜磨潤學、材料分析、金屬(模具)熱處理
電話：(02)2908-9899轉6312/7509
E-mail : clchang@mail.mcut.edu.tw
辦公室地點：綜大303-2/薄膜中心R201
材料工程系教授
研究方向： 半導體製程、無電鍍製程、電子陶瓷製程、光學鍍膜、硬膜開發、品質工程與管制
電話：(02)2908-9899轉6302/6335
E-mail：lcchang@mail.mcut.edu.tw
辦公室地點：綜大301-1
研究方向: 薄膜材料(熱電材料, 拓樸絕緣體, 透明導電氧化物, 複合氧化物, 高熵合金薄膜), 奈米機械性質、導磁材料、超快動力學、奈米光觸媒在汙染物降解的應用, 及奈米材料在光催化水分裂、能量轉換和儲存, 和電化學感測器
電話：(02)2908-9899 轉7516
E-mail : phle@mail.mcut.edu.tw
辦公室地點：電漿與薄膜中心305
研究方向：電漿表面生醫改質、大氣電漿化學、電漿聚合及應用、表面抗菌及光觸媒薄膜
電話：(02)2908-9899 轉 7517
E-mail: wychen@mail.mcut.edu.tw
辦公室地點：電漿與薄膜中心304
職稱：學程助理
業務職掌：預算編列、開課排課、網頁維護、學程各項業務聯繫協調、規章制定、活動辦理等
電話：(02)2908-9899 轉 7505
E-mail: laralo@mail.mcut.edu.tw
辦公室地點：電漿與薄膜中心201