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序號

設備名稱

負責人

分機

收費標準

 1

熱電子型場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM )

曾傳銘老師、李志偉老師

6320、6313

2,000/小時貴重儀器管理辦法

2

EDS

曾傳銘老師、李志偉老師

6320、6313

1,000/小時貴重儀器管理辦法

3

表面輪廓儀(Alpha-Step)

張麗君老師

6302/6335

300元/件貴重儀器管理辦法

4

傅立葉轉換紅外光譜儀(FTIR)

黃宗鈺老師

6316

1,200元/小時貴重儀器管理辦法

 5

紫外、紅光線/可見光分光光譜儀(UV/VIS/NIR spectrometers)

游洋雁老師

6305

1,200元/小時貴重儀器管理辦法

6

SEM鍍白金

曾傳銘老師、李志偉老師

6320、6313

300元/次貴重儀器管理辦法

7

X光射線光電子能譜儀(XPS)

黃啓賢老師、魏佚衿經理

6308、7513

XPS預約管理辦法

 8

高解析穿透式電子顯微鏡HRTEM*1

曾傳銘老師、林延儒老師

6320、6311

上機4,000/hr(一次必須預約四小時)

9

冷場發射掃描式電子顯微鏡FESEM*1

李志偉老師

6313

2,000元/小時

10

X光繞射光譜儀XRD*1

姚栢文老師

6325

1,000元/小時

11

掃描式電鏡(附EDAX)SEM*1

程志賢老師

6309

1,000元/小時

 12

奈米壓痕儀Nano-indenter *1

李志偉老師

6313

3,000元/小時 (自備探針)5,000元/小時(無探針)學界另計

13

微電子分析儀IV-CVmeasurement system*1

阮弼群老師

6303

依合作內容執行

14

原子力顯微鏡AFM*1

張麗君老師

6302/6335

1,000元/小時

15

橢圓儀Ellipsometer*1

盧榮宏老師

6303

2,500元/小時

16

濺鍍設備Sputtering system*6

陳勝吉老師、程志賢老師、阮弼群老師、張奇龍老師、盧榮宏老師、林延儒老師

6307、6309、6306、6302、6303、6311

依產學合作案內容執行

17

電化學量測設備Electrochemical system*2

彭坤增老師

6310

依合作內容執行

18

材料製程模擬Material processing simulation*1

吳鉉忠老師

6304

依合作內容執行