儀器負責人：張麗君  教授
分機：6302
地點：電漿薄膜中心2館1F

儀器原理：

表面輪廓儀的量測方式是以機械轉動的 方式，使一探針在試片表面由鍍膜區掃向未 濺鍍區，將高度差由機械訊號經轉換器轉換 成電子訊號並加以放大，顯示出薄膜剖面相 對高度圖，再經計算器算出實際膜厚。

儀器圖片：