儀器負責人：李志偉主任
分機：4437
地點：電漿薄膜中心1館3樓光電檢測實驗室

儀器原理：

刮痕試驗儀可用來測量薄膜與基材間或是薄膜本身的結合力；藉著使用漸進式或固定式正向力將鑽石探針於鍍層表面畫出特定長度之單一或多道次直線刮痕，並記錄刮痕過程之正向力、側向力、磨擦係數與音波放射訊號，本設備可透過光學顯微鏡分析觀察對應刮道之微結構。並根據音波訊號、磨擦係數與刮痕微結構分析發生破裂點的最小負荷，稱為臨界荷重(critical load，Lc)。此臨界荷重即可作為薄膜結合力測量的標準。

RST³儀器圖片:

1.鑽石探針    6.CCD

2.控制頭        7.底座

3.主軸            8.水平儀

4.基座Y 軸     9.試片夾持座

5.基座X 軸     10.校正片

實驗之數據:

1.刮痕微結構(光學顯微鏡):

 2. 正向力、下壓深度: