儀器負責人：黃啟賢 教授
分機：4457
操作者：魏佚衿 經理
分機：4390
地點：電漿薄膜中心2館2F

儀器原理：

儀器廠牌: ULVAC-PHI. Inc. 型號:PHI 5000 VersaProbe III

儀器規格：

X-ray光源：Al Kα Monochromator

真空系統≦6.7×10-8 Pa

能量解析度≦ 0.5eV at Ag 3d5/2 peak

分析面積≦ 10μm~1400μm

UPS：Ultra Violet source (He紫外光光源)

服務項目：

1.全能譜圖(survey)

2單元素能譜圖(multiplex)

3.元素線掃描(line scan)

4.元素影像掃描(mapping)

5.成分縱深分析(depth profiling)

6.紫外光電子能譜(UPS)

實驗之數據：

1.全能譜圖(survey)                                                                

2.紫外光電子能譜(UPS)

儀器圖片：

注意事項：

1.試片樣品不得具有磁性、毒性及輻射性。

2. 為避免污染儀器之超高真空系統，分析樣品以低揮發性物質為限。本設備之準備腔不作為抽除揮發性物質之用。樣品中若含有高揮發性分子或鍍膜，恕不接受分析。

3.粉體試樣請事先自行壓成薄片狀再送測。

貴重儀器規章辦法及收費標準：

貴重儀器管理辦法

XPS預約管理辦法

儀器檢測申請表(一)

XPS樣品檢測申請書(二)