【恭賀】賀本校電漿與薄膜科技中心與日本名古屋大學低溫電漿科學中心進行國際合作，成功發展出新穎的低污染半導體薄膜材料蝕刻技術！

最後更新日期 : 2025-09-10

本校電漿與薄膜科技中心成員暨材料系的李志偉講座教授、張麗君教授與姚栢文助理教授，與日本名古屋大學低溫電漿科學中心進行國際合作，成功發展出新穎的低污染半導體薄膜材料蝕刻技術，成果近日獲得報導！

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