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產學檢測實驗室

            

負責人

李志偉 老師

負責人分機

4437

地點

薄膜中心  2館1F

實驗室分機

4489

 

 

 

    

設備負責老師:謝章興 老師 (#4677)

管理者:魏佚衿 (#4682)、王薰儀 (#4682)

設備原理

3D列印(3D print)為快速成型技術(Rapid Prototyping, RP)的一種,又稱為增材製造技術(Additive Manufacturing, AM),是將電腦工程或美術繪圖軟體繪製出的3D圖面透過印表機讀取檔案並分層取出各層截面的資訊,再利用加熱融化材料並描繪出各層截面的輪廓逐層堆疊形成實體物件。

儀器設備

 

範例成

 

 

 

 

      

設備負責人員:謝章興 老師 (#4677)

管理者:王薰儀 (#4682)、林家宇 (#4440)

設備原理

靜電紡絲是使用電荷從液體中抽極細(一般在微米或奈米大小)纖維的工程過程。靜電紡絲不需要化學混凝或者高溫來從液體裡生產固體纖維,這使得這個過程特別宜於用來生產大分子或者複合分子的纖維。靜電紡絲也可以被用來從熔化液裡抽取纖維,這樣獲得的最終產品中沒有溶劑的遺迹。

儀器設備

 

原理

 

 

 

      

設備負責人員:李志偉 老師 (#4437)

管理者:呂季諭 (#4436)

設備原理

熱燈絲電漿輔助化學氣相沉積 (Hot filament plasma enhanced chemical vapor deposition, HF-PECVD)技術是藉由平板電漿來改良傳統熱燈絲化學氣相沉積法(HFCVD),其優點是可以透過電漿能量來做試片電漿蝕刻前處理,及降低熱燈絲的加熱溫度,以降低鍍膜溫度。鑽石鍍膜的原理是氫氣被熱電子解離成氫原子,氫原子將甲烷(CH4)逐漸還原成碳原子,再沉積於試片表面形成鑽石結構。並藉由基材溫度、熱燈絲與基材距離、CH4/H2氣體比例、製程壓力、平板電漿功率及基板偏壓等的參數調整來控制奈米鑽石薄膜的性質及結構。

                                                   

圖(1)為開熱燈絲時的腔內樣貌,圖(2)為開平板電漿時的腔內樣貌。兩者可同時運作,對於薄膜品質有極大的影響;因此經過適當調控之後,可獲得極佳之鑽石薄膜品質。

儀器外觀:

             

儀器功能:

1.具有熱燈絲系統,可進行化學氣相沉積鍍膜。

2.具有平板電漿系統,可增強電漿離子化程度與改良薄膜品質。

3.可進行碳化物薄膜及鑽石薄膜之研究。

儀器內視圖:

儀器功能:

A.進氣Shower: 將通入的製程氣體平均散佈於腔體內。

B.加熱鉭燈絲4條: 分解製程氣體。

C.平板電漿網格板2片: 產生電漿,並增加製程氣體解離率。

其它功能:

載盤加熱可升溫至1000度。

全載座可自轉,並能徧轉角度10度。

 

 

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