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明志科大鍍膜技術 居亞洲地區領先地位

明志科大鍍膜技術 居亞洲地區領先地位
明志科大鍍膜技術 居亞洲地區領先地位

明志科大薄膜研究中心多年來投入「高密度電漿技術」研發,尤其在「高功率脈衝磁控濺鍍(HiPIMS)系統鍍膜技術」方面成果斐然,超越國立科大,並自前年獲得科技部深耕工業基礎技術計劃-「先進物理鍍膜技術與鍍膜系統設備開發」之多年期計畫後,於本月17日於該校薄膜中心二館電漿表面工程實驗室舉行「先進物理鍍膜系統設備與製程開發實驗室」揭牌儀式與複合式鍍膜系統設備的啟用典禮。

學校表示,新建置實驗室與增購之複合式鍍膜系統設備有助於執行科技部計畫、教育部實務課程發展計畫與相關產學合作計畫,提升學生實習成效,對於學生養成專業技術與增強就業能力有極大幫助。薄膜科技與應用中心長期致力於「高密度電漿技術」、「電漿診斷」、「低溫電漿技術」、「電漿聚合」、「表面功能化技術」、「PVD鍍膜系統設計與製程開發」等研究項目,近三年已執行政府機關與民間產學計畫共109案,總經費達8,875萬元,衍生技轉案共有7件,技轉金額達208萬元,獲得專利24件,發表SCI期刊論文共222篇,研發成果豐碩。

負責薄膜中心研究團隊的明志科大材料系教授李志偉表示,中心研究團隊整合張奇龍教授、清華大學杜正恭教授、成功大學丁志明教授與虎尾科大張銀佑教授的技術專長,投入大量經費設備與專業人力,並於104年開始執行科技部「深耕工業基礎技術專案計畫-先進物理鍍膜技術與鍍膜系統設備開發」多年期研究計畫。目前,除了科技部二年共1,400萬元補助之外,也獲得學校挹注516萬元,以及相關廠商捐贈215萬元的設備經費,並衍生971萬元的產學計畫,績效相當突出。發展高功率脈衝磁控濺鍍(HiPIMS)系統的鍍膜技術與應用推廣為該深耕計畫的重點之一,該研究團隊目前在HiPIMS技術鍍製金屬、氮化物、氧化物與碳化物薄膜方面的研究有極大突破發展,成果位居亞洲地區領先地位。

新購置的複合式鍍膜系統設備則整合上述HiPIMS鍍膜與陰極電弧鍍膜系統,這是由張奇龍教授設計,委託亮傑科技公司製造,屬於世界級最先進的鍍膜設備技術,目前全世界只有德國Oerlikon Balzers公司推出整合這兩種技術的商業型機台,因此,明志科大薄膜中心將致力於推廣這套最新穎的複合式鍍膜系統與鍍膜技術的Turnkey solution到台灣與亞洲地區,以大幅提升我國鍍膜產業的設備與製程技術能力。由於複合鍍膜系統可以結合HiPIMS鍍膜與陰極電弧鍍膜技術快速成膜的優點,大幅提高鍍膜品質,並能在低於攝氏200度以下的溫度鍍膜,因此除了一般金屬、陶瓷與矽材料表面之外,更能在塑膠高分子、布料等材質表面進行高品質的鍍膜,未來在光學、光電、半導體、能源、機械加工、生醫等領域的應用都具有極大的發展潛力。

李志偉教授指出,以這套新穎複合鍍膜系統可將HiPIMS電源與陰極電弧鍍膜電源整合,可大幅改善HiPIMS鍍膜速率偏低與陰極電弧鍍膜造成的表面粗糙問題,同時保持HiPIMS鍍膜的高硬度等機械特性,具備許多應用潛力,也是吸引產業界目光的關鍵因素,藉由科技部深耕工業基礎技術計畫推廣HiPIMS與陰極電弧複合鍍膜設備與鍍膜技術至工業界有極大的助益。

文章來源:明志科技大學   發表時間:2017/05/19

連結網址:https://ppt.cc/fMifFx

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