■曹佳榮■

明志科技大學薄膜科技與應用中心近年來研發成果豐碩，包括HIT太陽能電池、鋁／鈦合金MAO表面改質技術、鉻／鋯基氮化物微端銑刀鍍膜、抗菌薄膜、有機／無機抗反射膜等製程與產品，該中心為協助產業界提升產業價值，積極與企業推展產學合作、技轉專利商品化。

該中心由謝章興博士及李志偉博士率領專業團隊，致力研究於ICP-CVD、PE-CVD、濺鍍、蒸鍍、液態電漿、大氣電漿、電漿聚合等，並結合日本大阪大學鍍膜技術，推動國內薄膜與電漿科技開發與應用，主要的設備有連續式及批次式三維—濺鍍系統、低電感高密度電漿與電漿輔助化學氣相沉積系統、液態電漿、電漿聚合系統、高功率脈衝鍍膜系統、離子輔助蒸鍍系統、微弧氧化系統等製程設備，與各式先進檢測設備，目前已成功開發包括HIT太陽能電池、鋁／鈦合金MAO表面改質技術、鉻／鋯基氮化物微端銑刀鍍膜、抗菌薄膜、金屬玻璃薄膜、生物相容性薄膜、抗電磁波薄膜、Hybrid抗反射薄膜等製程及產品。

謝章興博士及李志偉博士均表示，薄膜科技除了運用在半導體業、精密機械領域，更可以被廣泛運用到民生用品上，該中心以「務實致用」為前提，未來持續透過產學（建教）合作、測試分析、顧問諮詢等方式，協助業界解決薄膜技術相關問題，以期讓國內產業在國際上具有更大的競爭力。

明志科大薄膜中心電話（02）2908-9899分機4481。

2013-06-28．經濟日報．D2．產學合作專刊．曹佳榮